石英舟厂家告诉你石英舟的背景技术

石英舟是一种半导体硅片承载工具，目前应用最为广泛有两个用途：1.太阳能电池片在制作过程中有一步很关键的步骤叫扩散，这个步骤中需要石英舟作为承载夹具在扩散炉固定硅太阳能电池片半成品；2.半导体硅片在制作过程中有多个工序步骤，从一道工序运输到下道工序需要石英舟承载半成品硅片，比如led外延片生产过程中，需要多次硅片外观、产品性能检验，检验前、检验后的产品都需要石英舟承载。如说明书附图图1所示，常见的石英舟包括两侧板，以及固定在两侧板之间的两石英舟上槽棒和两石英舟下槽棒。

中国发明专利申请cn109887873a公开了一种高品质石英舟的生产加工方法，包括来料检、切割、加工中心加工、酸洗、纯水清洗、火加工、支承退火、酸洗、纯水清洗、封装发货等工序。

该方法可完成石英舟的制备，但是在制备过程中，需要以焊接的形式固定槽棒，天板和受台的相对位置，这种生产方法焊口粗糙，需要手工研磨，耗费时间长，返工率高，使用不方便。

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